OPC点表构建

构建高效OPC点表，最新实操指南

构建高效OPC（Optical Proximity Correction，光学邻近修正）点表是提升半导体制造精度与效率的关键步骤。最新实操指南涵盖了从数据准备、点表结构设计到优化策略的全面流程。该指南强调采用先进的算...

允怡宁 1293 次浏览 2024-12-08 仪器仪表设备